Год выпуска: 1988 Автор: В.В. Симонов Л.А. Корнилов А.В. Шашелев Е.В. Шокин Наличие иллюстраций: Ч/б иллюстрации Жанр: Электроника Издательство: Радио и связь ISBN: 5-256-00007-1 Формат: PDF Качество: Сканированные страницы + оглавление Количество страниц: 184 Сканировал: ИИ Описание: Систематизированы сведения о свойствах, параметрах и устройствах временного оборудования ионной имплантации. Рассматриваются физические явления, положенные в основу действия имплантационных установок. Приведены классификация и требования, предъявляемые к оборудованию и отдельным его подсистемам. Изложены принципы автоматизации оборудования. Для инженерно-технических работников, специализипующихся в области применения и разработки оборудования ионной имплантации.
